高雄大學電機工程學系副教授吳松茂率領的團隊,
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,協助半導體業界解決問題,
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,獲頒科技部產學合作研究計畫優良獎。(高雄大學提供)
IC測試探針(pogo pin)細如毛髮,
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,直徑僅約0.01至0.25公厘,
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,長約3公厘,
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,比10元硬幣人像的耳朵還小。(高雄大學提供)
高雄大學電機工程學系副教授吳松茂,獲頒科技部產學合作研究計畫優良獎,表揚他協助國內半導體等測試治具製造業者,找出「IC測試探針(pogo pin)」失效原因,所開發技術與資料庫還可應用於IC晶圓、光學鏡片檢測,商業價值上看數億元。擔任高大先進構裝整合技術中心主任的吳松茂來自業界,長期協助半導體產業,此次與佳倢科技公司產學合作,率研究團隊協助調查其中的IC測試探針異常磨損導致失效的肇因。吳松茂表示,半導體製程技術不斷突破,IC體積愈做愈小,功能與腳數愈來愈多,相對系統構造愈來愈複雜。為減少不良品衍生的製造成本,於切割晶圓、封裝晶粒前後,以「探針卡(Probe Card)」及「測試載版(Load Board)」檢測是現今業界普遍作法。測試介面由數百至上千支細如毛髮的探針組成,每支探針直徑僅約0.01至0.25公厘,長約3公厘,針尖(Probe Tip)為爪狀,藉以穩定接觸晶圓或封裝上之訊號接點(pad),進行信號等電氣特性測試,再依結果分類測試晶片或封裝等級。吳松茂指出,針頭屬於耗材,因反覆接觸訊號接點而沾黏磨損,正常可使用數萬甚至數十萬次。團隊反覆實驗調查,發現癥結在於測試晶圓凸塊或封裝錫球上球迴焊溫度曲線不同,造成IC測試探針針爪電鍍層材料硬度與錫球接點硬度無法適當配合,以致探針未達標準測試次數即過度磨耗而失效。研究成果除確保佳倢科技產品品質無虞,也協助其客戶重新檢視製程,避免產出瑕疵晶片造成上億虧損,因而獲得科技部工程司肯定,頒獎表揚。(中時即時),